真空氣氛爐系列常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體等各種氣氛。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結(jié)，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結(jié)，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結(jié)。廣泛用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發(fā)、特種材料、建材等領域的生產(chǎn)及實驗。
有時為保護燒結(jié)調(diào)協(xié)也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。
真空氣氛爐系列是真空技術與熱處理技術相結(jié)合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。
真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進行的，真空熱處理可以實現(xiàn)幾乎所有的常規(guī)熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質(zhì)量大大提高。
與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
真空氣氛爐系列保護氣體替換清洗法：
1.保護氣體一般應在氣氛爐升溫前通入爐內(nèi)；
2.保護氣體可通過上、下、后三個洗爐口通入，應將排氣口的針閥開至zui大，以利于爐內(nèi)空氣盡快排出；
3.一般向爐內(nèi)通入爐膛容積10倍左右的保護氣體，可使爐內(nèi)氧濃度降至10ppm左右；
4.當爐內(nèi)氧濃度符合產(chǎn)品工藝要求時，可將排氣口的針閥關小，以節(jié)約保護氣,關閉洗爐口,由進氣口通過流量計進入；
5.在氣氛爐使用過程中，爐膛內(nèi)必須維持正壓，以防爐外空氣進入爐膛。
